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    河南省超高純硅材料工程研究中心

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      河南省超高純硅材料工程研究中心于2016 年獲批復建設成立,圍繞硅材料重點和難點問題,研究實驗開發超高純材料制備關鍵工藝技術( 含系統的節能技術、環保技術)和核心裝備技術,開展相關硅產業結構優化升級的新理論、新技術、新工藝、新裝備研發,培養產業工程設計技術創新人才,促進重大科技成果應用,建立硅產業各領域系統的技術標準、規范,為超高純產業發展提供有力支撐。本中心依托中硅高科的電子功能材料研發平臺組建,通過對綜合研究開發樓進行環境優化提升,建設了4個試驗平臺和1個綜合測試分析中心,包括:硅基電子氣體試驗平臺、光纖四氯化硅試驗平臺、硅烷試驗平臺、超高純多晶硅試驗平臺和綜合測試分析中心。以打造國內硅基材料產業關鍵技術供給、促進硅產業實現跨越式發展為目標,以硅材料工程設計自主創新、提升硅產業持續發展能力為重要源頭,累計投入建設資金6562.85萬元,配備試驗線所需高純設備、管線、充裝、儲存、檢測設備300余臺套。

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