截止2023年6月，中硅高科累計獲授權專利233件（發明專利117件），其中近五年獲授權專利99件，目前在實質審查專利64件（發明專利63件），涉及多晶硅、電子功能材料和新能源等相關產業，其中[生產多晶硅的方法]獲第19屆中國專利金獎。